HORIBA研究級經(jīng)典型橢偏儀UVISEL概述

20多年技術積累和發(fā)展的結晶,是一款高準確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機型。即使在透明的基底上也能對超薄膜進行樶精que的測量。采用PEM相位調(diào)制技術，與機械旋轉(zhuǎn)部件技術相比,能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。

技術參數(shù)：

可選光譜范圍：

* UVISEL Extended Range(190nm -2100 nm)
* UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )
* UVISEL VIS (210 nm -880 nm )
* UVISEL FUV(190 nm -880 nm )
* UVISEL VUV(142 nm -880 nm )
* 多種實用微光斑尺寸選項
* 探測器：分別針對紫外，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器
* 自動樣品臺尺寸：多種樣品臺可選
* 自動量角器：變角范圍35° – 90°，全自動調(diào)整，樶小步長0.01°

HORIBA研究級經(jīng)典型橢偏儀UVISEL特點

★  50KHz 高頻PEM 相調(diào)制技術，測量光路中無運動部件
★  具備超薄膜所需的測量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率
★  具有毫秒級超快動態(tài)采集模式，可用于在線實時監(jiān)測
★  自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學反應池、液體池、密封池等多種附件
★  配置靈活